Aid intensity or amount: Light sources 43,2 %; Optics 37 %; Mask 42,7 %; Mask carrier 36,7 %; Process/resist 47,1 %; Total 39,9 %
Intensité ou montant de l'aide: Sources lumineuses 43,2 %; optique 37 %; masques 42,7 %; porte-masques 36,7 %; processus/résistance 47,1 %: Total 39,9 %